PLD法による有機薄膜の作製

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-094

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Preparation of Organic Thin Films by PLD Method

著者名: 大島 多美子(佐世保工業高等専門学校),柳生義人 (佐世保工業高等専門学校),川崎 仁晴(佐世保工業高等専門学校),須田 義昭(佐世保工業高等専門学校)

著者名(英語): Tamiko Ohshima(Sasebo National College of Technology),Yoshihito Yagyu(Sasebo National College of Technology),Hiroharu Kawasaki(Sasebo National College of Technology),Yoshiaki Suda(Sasebo National College of Technology)

キーワード: 有機エレクトロルミネッセンス|パルスレーザ堆積|薄膜

要約(日本語): パルスレーザ堆積（PLD）法により有機エレクトロルミネッセンス（OEL）材料薄膜の作製を行った。OEL材料の成膜法として主に真空蒸着法が用いられているが、この真空蒸着法に比べPLD法では膜厚制御が容易・ターゲット材料との組成ずれが少ない・比較的低温で良質な薄膜を作製することが出来る等の特徴を持つ。そこで本研究ではパルスNd:YAGレーザ（波長532nm）を用いPLD法によるAlq3薄膜の作製を行い、堆積膜の構造・光学的特性を測定し作製条件との関係を調べた。その結果、レーザエネルギーのアブレーション閾値を確認し、Alq3の分子構造を有する薄膜が堆積された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 771 Kバイト