スパッタ法によるカーボンナノフレークの作製

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-096

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Fabrication of carbon nanoflakes by sputtering

著者名: 平瀬 裕司(名古屋工業大学),竹内 宏樹(名古屋工業大学),小野 晋吾(名古屋工業大学),市川 洋(名古屋工業大学)

著者名(英語): Yuji Hirase(Nagoya Institute of Technology),Hiroki Takeuchi(Nagoya Institute of Technology),Shingo Ono(Nagoya Institute of Technology),yo Ichikawa(Nagoya Institute of Technology)

キーワード: カーボンナノフレーク|グラフェンシート|スパッタ

要約(日本語): 本研究では，カーボンナノフレーク(CNF:carbon nanoflakes)の作製方法の1つである高周波マグネトロンスパッタ法でCNF作製を行い，スパッタ条件によるCNFの形状の変化について調べた．本スパッタ実験では，グラッシーカーボンをターゲットとして用い，Ar/CH4混合ガス雰囲気で2時間スパッタを行った．基板を600℃に加熱してスパッタを行った場合に，CNFを作製できた．加熱温度700℃では，スパッタによる堆積物は見られたが，明瞭なフレーク構造とはならなかった．加熱温度500℃では，スパッタによる堆積物の確認はできなかった．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 527 Kバイト