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プローブにより通電させた磁性薄膜の透磁率計測

プローブにより通電させた磁性薄膜の透磁率計測

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カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-125

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Permeability Measurement of Magnetic Thin Film by Direct Contact

著者名: 薮上 信(東北学院大学)

著者名(英語): Shin Yabukami(Tohoku Gakuin University)

キーワード: 磁性薄膜|透磁率

要約(日本語): 本報告ではプローブを磁性薄膜へコンタクトし、直接通電することにより透磁率評価を試みた。従来磁性薄膜の透磁率計測(1)は評価用基板を特定のサイズに切り出す必要があった。本手法によりウエハレベルでの非破壊の透磁率計測へ適用を目指したい。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 769 Kバイト

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