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Nd-Fe-B系薄膜磁石の作製と磁気特性

Nd-Fe-B系薄膜磁石の作製と磁気特性

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カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-151

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Preparation of Nd-Fe-B thin film magnets and their magnetic properties

著者名: 山脇 一生(長崎大学),佐原 政樹(長崎大学),高橋 賢一郎(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学)

著者名(英語): Kazuki Yamawaki(Nagasaki University),Masaki Sahara(Nagasaki University),Kenichiro Takahashi(Nagasaki University),Takeshi Yanai(Nagasaki University),Masaki Nakano(Nagasaki University),Hirotoshi Fukunaga(Nagasaki University)

キーワード: Nd-Fe-B|アーク真空蒸着法|薄膜

要約(日本語): ここ数年、盛んに報告されている小型磁石の開発手法として薄膜磁石の作製が進められている。代表的な薄膜磁石の作製方法として、スパッタリング法などが知られている。本研究では、真空中においてアーク放電を発生させる手法を用い、Nd-Fe-B系薄膜磁石を作製した。その結果、保磁力:1100 kA/m、(BH)max:62 kJ/m3の磁気特性を得たので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,052 Kバイト

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