磁歪膜を用いたストレインゲージに関する検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-163

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Study of strain gauge using magnetostrictive film

著者名: 諏訪 靖明(東北大学),枦修一郎 (東北大学),石山 和志(東北大学)

著者名(英語): Yasuaki Suwa(Research Institute of Electrical Communication,Tohoku Univ.),Syuichiro Hashi(Research Institute of Electrical Communication,Tohoku Univ.),Kazushi Ishiyama(Research Institute of Electrical Communication,Tohoku Univ.)

要約(日本語): Fe系アモルファス磁性膜は軟磁性と高磁歪を併せ持ち、この特性を利用した高感度な歪センサが報告されている。このセンサ素子は磁性膜に直接通電を行い、通電する周波数が表皮効果を利用できる周波数領域で大きなインピーダンス変化量が得られ、高感度を示す。しかし、センサ素子のインピーダンス自体が大きく、外部応力に対してインピーダンスが変化した場合でも得られるインピーダンス変化率が小さくなってしまうおそれがあり、歪センサの高感度化に影響を与える。本研究では、この問題点を考慮し、磁性膜よりも抵抗率の低い導体層を設け、センサ素子のインピーダンスを小さく抑えた素子の作製・高感度化に関する検討を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 913 Kバイト