集束イオンビームによるテーパを有した電子光学系輪帯瞳の開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-018

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Development of annular pupils with taper for electron optics by focused ion beam technicue

著者名: 松谷貴臣 (近畿大学),田中武雄 (大阪産業大学),木村吉秀 (大阪大学),高井義造 (大阪大学),川崎忠寛 (名古屋大学),市橋幹雄 (名古屋大学),生田孝 (大阪電気通信大学)

キーワード: 集束イオンビーム|輪帯瞳|電子光学|電子顕微鏡

要約(日本語): 電子顕微鏡や電子ビームリゾクラフィなどの荷電粒子を用いた光学系の高分解能化は、電磁界を利用する電子レンズによって生じる球面収差の除去にある。しかしながら、従来型の回転対称電子光学系では凹レンズの作製が原理的に不可能であるため、球面収差補正は困難であった。本研究では、焦点深度拡大、無収差像の実現および振幅/位相像分離へ向けた輪帯照明法と8の字Fourierフィルタリングなる画像処理法を組み合わせた走査型TEM の開発を目的とし、輪帯照明用アパーチャの開発に着手してきた。輪帯アパーチャに限らず電子線照射方向に対して平行な壁面の存在は、壁面衝突によって高速散乱電子が発生する可能性があり、これがコントラスト低下の原因となる。ここでは、FIB装置を用いて、高速散乱電子の生成を抑制するため、輪帯溝壁面にテーパを持つ加工精度の高い輪帯照明用アパーチャを試作し、その形状について評価した結果について報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 915 Kバイト