次世代マッチングコントローラ用制御に関する研究

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-096

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): The Analysis of the Matching Control

著者名: 広瀬 裕己(横浜国立大学),河村 篤男(横浜国立大学),高柳 敦(京三製作所),高田 浩一(京三製作所)

著者名(英語): Yuki Hirose(Yokohama National University),Atsuo Kawamura(Yokohama National University),Atsushi Takayanagi(Kyosan),Hirokazu Takada(Kyosan)

キーワード: インピーダンス・マッチング|マッチャー|RFジェネレータ

要約(日本語): 液晶パネルや半導体集積回路などの製造工程ではプラズマ処理が用いられている。その際に用いるプラズマを安定に発生させるため，RF電源の送信側と受信側（液晶パネル等）のインピーダンスを等しくする必要がある。そこで，RF電源と受信側の間に「マッチング・ボックス」と呼ばれるLC回路を挿入し，LC回路内の容量可変型コンデンサ（バリコン）の容量を制御することによって受信側のインピーダンスが変動した場合にもインピーダンス・マッチングを実現できるよう制御している。この制御を「マッチング制御」と呼ぶ。マッチング制御に関して新たな制御法を提案し，従来用いられていた制御法を改良することに成功したので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,590 Kバイト