可動部への機械的拘束力低減のための駆動信号供給手法：PDP配線

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-115

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): MINIMALY RESTRICTED WIRING BY PROBE DIPPING μPOOL (PDP) CONNECTION

著者名: 伊藤 正敏(立命館大学),前田 拓斗(立命館大学),清水 幸一(立命館大学),小西 聡(立命館大学)

著者名(英語): Masatoshi Ito(Ritsumeikan University),Takuto Maeda(Ritsumeikan University),Koichi Shimizu(Ritsumeikan University),Satoshi Konishi(Ritsumeikan University)

キーワード: マイクロプール|ワイヤボンディング|導電性液体|機械的拘束力|静電吸着制御型マイクロアクチュエータ|可動電極

要約(日本語): MEMSアクチュエータには電気的信号による駆動制御が多く用いられるため、可動電極への配線が不可欠となる。可動電極への配線は、支持バネ構造を兼ねた導電性の機械的構造を用いることが多い。機械的構造を介した場合、変位動作の際に可動電極に対して支持バネによる復元力が生じ、動作範囲を制限する要因となる。そこで本稿では、導電性液体とその中を可動する電極プローブによる電気的接触を用いる配線手法を提案する。本手法をProbe Dipping ?Pool (PDP) 配線と称する。PDP配線は機械的接続構造を有さないため、配線による機械的拘束力の問題を解決可能である。PDP配線のMEMSアクチュエータに対する有用性の実証として、静電吸着制御型マイクロアクチュエータのスライダアレイへの応用を行う。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,376 Kバイト