低周波帯域に対応する振動子の作製方法

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-118

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Making method of transducer for vibrating at low frequency

著者名: 鈴木 隆史(東北大学),長澤 純人(東北大学),桑野 博喜(東北大学)

著者名(英語): Takafumi Suzuki(Tohoku University),Sumito Nagasawa(Tohoku University),Hiroki Kuwano(Tohoku University)

キーワード: MEMS|環境発電|CYTOP|カンチレバー|高分子

要約(日本語): 近年、医療や環境管理などへ応用される微小なセンサの研究開発により、ユビキタスセンサネットワーク技術が実現可能なものになりつつある。ユビキタスセンサネットワークでは、センサの数が多く、かつ簡単に修理などはできないために電源も含め全てメンテナンスフリーであることが望まれている。そこで本研究では、振動型マイクロ発電デバイスのサイズを変えずに共振周波数を低域にシフトし、環境振動に対応した振動子の作製方法を検証した。この振動子をHybrid Silicon Micro Structure (HSMS)と称し、Siとヤング率の低いCYTOP (CTL-809M、旭硝子製)が複合した構成である。また、発電方式として半永久的に外部に電界を発生することができるエレクトレットを用いた静電誘導による発電を採用した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 899 Kバイト