静電容量型MEMSデバイスを用いたカーボンナノ材料引張試験

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-121

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Tensile Testing of Carbon Nano Materials Using Electrostatic MEMS Device

著者名: 浦 靖武(京都大学),菅野 公二(京都大学),土屋 智由(京都大学),田畑 修(京都大学)

著者名(英語): Yasutake Ura(Kyoto University),Koji Sugano(Kyoto University),Toshiyuki Tsuchiya(Kyoto University),Osamu Tabata(Kyoto University)

キーワード: フラーレン|MEMS|引張試験

要約(日本語): 近年関心が高まっている，カーボンナノチューブ(CNT)やフラーレン(C60)に代表されるナノスケールのカーボン材料の引張試験について報告する。本研究ではnm、nNオーダーの変位と荷重を検出可能な、ナノスケール材料用静電容量型引張試験デバイスと，架橋構造をもつC60ワイヤのSOI-MEMSデバイスへの集積化手法を提案し，提案したデバイスを用いて架橋構造のC60ワイヤの引張試験を行った。実験の結果、微小なC60ワイヤをデバイス上に集積化し、nm、nNオーダーの分解能での引張試験に成功した。測定されたC60ワイヤのヤング率および引張強さはそれぞれ5.9GPa、17MPaであった。本試験を通して、我々の提案するデバイスを用いてナノスケールの材料を高精度に試験可能である可能性が実証された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,474 Kバイト