微小孔への多孔質シリカ自立膜の形成

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-122

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Formation of a Free-standing Mesoporous Silica Membrane Covering Micro-holes

著者名: 松島 隆明(九州工業大学),安田 隆(九州工業大学)

著者名(英語): Takaaki Matsushima(Kyushu Institute of Technology),Takashi Yasuda(Kyushu Institute of Technology)

キーワード: 分子フィルタ|メソポーラスシリカ|微小孔アレイ|マイクロ化学センサ

要約(日本語): 分子フィルタを利用するマイクロ化学センサにおいては，感度と精度がフィルタ特性で決まるため，高性能な分子フィルタの製作が必要不可欠である．本研究ではマイクロ化学センサへの応用を目的としたフィルタデバイスの製作と評価を行った．フィルタは，直径2μmの微小孔を多数有するSiN自立膜の上に，シリカ前駆体(TEOS)と界面活性剤(CTAB)を含有する溶液をスピンコートすることで得られる．微小孔上に張られた膜はメソポーラスシリカ自立膜である．シリカ自立膜をTEM観察したところ，1～2nmのポーラス構造を有していることが確認された．蛍光色素を用いて分子透過能を評価した結果，分子径が1nm以下の蛍光色素のみを透過させることに成功した．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,009 Kバイト