フッ硝酸系溶液を用いた神経信号検出用脳内埋込電極に対する一検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-123

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): A study on an implantable microelectrode for neural recording using a HF-HNO3 solution

著者名: 斉藤 洋之(日本大学),関根 好文(日本大学)

著者名(英語): Hiroyuki Saito(Nihon University),Yoshifumi Sekine(Nihon University)

キーワード: MEMS|脳内埋込電極|ウェットエッチング

要約(日本語): 近年，MEMS技術の発達により，神経信号を検出できる脳内埋込電極が開発されている。しかし，現在開発されている脳内埋込電極では，各々の神経細胞から神経信号を検出することが困難である。その理由の一つとして，神経細胞の大きさに比べ，電極間距離が長いことが挙げられる。各々の神経細胞から神経信号を検出するためには，電極間距離を神経細胞の大きさ程度まで微細化する必要がある。更に，単体の神経細胞から神経信号を検出するためには，先端の先鋭な電極を作製する必要がある。今回，脳内埋込電極の先端の形状についてフッ酸，硝酸，酢酸の混合液を用いウェットエッチングを行い，検討を行った結果，電極の先端を50[μm]細くすることができた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,775 Kバイト