水晶振動子を利用した水素ガスセンサの研究開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-128

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Hydrogen Gas Sensor Using Quartz Resonators

著者名: 曹揚(早稲田大学),柿本義典(早稲田大学),山崎大輔(早稲田大学),紀静(早稲田大学),植田敏嗣(早稲田大学)

著者名(英語): Yang Cao|Yoshinori Kakimoto|Daisuke Yamazaki|Jing Ji|Toshitsugu Ueda

キーワード: センサ|水晶振動子|水素|感度

要約(日本語): 水素はクリーンなエネルギーとして期待されているが、空気中の濃度が4％を超えると爆発する可能性があり、水素ガスの漏れを信頼性良く高感度に検出できるセンサが必要とされている。本研究では、これまでの水晶振動子を利用した水素ガスセンサの感度向上を目的に、水晶振動子部分のPt電極とAu電極との間の熱伝導を遮断するスリットの入ってるセンサを設計・製作した。スリットの深さは三種類あり、それぞれの感度を向上させる効果を比較した。その結果、感度が一番高い完全スリット入りのセンサで低濃度域の水素濃度実験を行い、水素濃度が0．1％の場合で十分な感度を持っていることを確認した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 708 Kバイト