赤外干渉計用マイクロレンズの光学特性評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-131

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Optical Characteristics of Micro Lenses for IR Interferometer

著者名: 阿部 泰(山形県工業技術センター),渡部 善幸(山形県工業技術センター),岩松 新之輔(山形県工業技術センター),小林 誠也(山形県工業技術センター),高橋 義行(山形県工業技術センター),村上 穣(山形県工業技術センター),佐藤 敏幸(山形県工業技術センター)

著者名(英語): Yutaka Abe(Yamagata Research Institute of Technology),Yoshiyuki Watanabe(Yamagata Research Institute of Technology),Shinnosuke Iwamatsu(Yamagata Research Institute of Technology),Seiya Kobayashi(Yamagata Research Institute of Technology),Yoshiyuki Takahashi(Yamagata Research Institute of Technology),Yutaka Murakami(Yamagata Research Institute of Technology),Toshiyuki Sato(Yamagata Research Institute of Technology)

キーワード: マイクロレンズ|赤外干渉計

要約(日本語): レジストのリフローとRIEによって作製したSiレンズと、弱露光プロセスにより作製したSU-8レンズの集光特性を評価した。ビームプロファイラを用いて、コリメートレンズとマイクロレンズの距離を一定とし、マイクロレンズとプロファイラ間の距離を変えたときのビーム径を光軸に垂直な2軸方向について測定した。評価したレンズの曲率は、Siレンズが4.8mm、6.1mm、16.2mm、SU-8レンズが7.9mm、12.3mm、17.2mmとした。理論値と比較した最小のビーム径は、Siレンズで約1.4倍～2倍、SU-8レンズで約1.2倍～5倍であった。曲率半径が小さい場合、ビーム径が理論値と大きく異なった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 833 Kバイト