感光性ポリイミドを用いた低コストPolymer-MEMSミラー

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-132

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Fabrication of Polymer-MEMS mirror using a photosensitive polyimide for low cost methods

著者名: 仮谷 宗一郎(香川大学),中野 哲郎(香川大学),本山 清徳(香川大学),鈴木 孝明(香川大学),大平 文和(香川大学),橋口 原(静岡大学)

著者名(英語): Soichiro Kariya(Kagawa University),Tetsuro Nakano(Kagawa University),Kiyonori Motoyama(Kagawa University),Takaaki Suzuki(Kagawa University),Fumikazu Ohira(Kagawa University),Gen Hashiguchi(Shizuoka University)

キーワード: 感光性ポリイミド|MEMSミラー|ポリマーMEMS

要約(日本語): MEMSミラーデバイスは、プリンタヘッドやプロジェクタなどに用いられる重要なデバイスである。一方将来の各分野の応用に向けて、ミラーデバイスの製作においては、安価なプロセス方法の実現が望まれている。MEMSミラーの低コスト化に向けては、これまでにポリイミドヒンジミラーやプロジェクタ用ポリマーミラーなどの研究がある。しかし、いずれの方法も材料にSiを用いることやRIEプロセスなどを用いるため低コスト化には限界があると考えられる。そこで本研究ではより一層の低コスト化を目指し、プロセスが極めて簡易なフォトリソプロセスのみでPolymer-MEMSミラーの製作法を提案するとともに、これによる試作検討を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,098 Kバイト