生物模倣型音源定位MEMSセンサの設計

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-141

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Theoretical design of Biomimicry Directional Microphone and its experiment

著者名: 栗原徹 (東京大学),渡辺健太郎 (東京大学),安藤繁 (東京大学),山西良樹 (東京エレクトロンAT),大麻隆彦 (東京エレクトロンAT)

キーワード: MEMS|生物模倣|音源定位|荷重積分法

要約(日本語): ヤドリバエは, その聴覚器官が非常に小さいにも関わらず,驚くべき音源定位能力を有する.近年の発展凄まじいMEMS技術により, この構造を模倣し小型で音源定位が可能なマイクロフォンを実現することは大変魅力的である.我々の研究室ではこれまでジンバル型音源定位センサを提案してきたが, 満足する性能を実現することができなかった.今回新たに荷重積分法を導入することにより新しい構造を提案するにいたった.本稿では, その原理と構造を示し、有限要素法によるシミュレーション、さらに試作したMEMSセンサの実験結果を示す。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,340 Kバイト