誘導反発式磁気浮上を用いたマイクロ浮上装置に関する検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-148

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Micro Levitation Device Using Electro Dynamic Suspension

著者名: 多田亮平 (武蔵工業大学),鳥居粛 (武蔵工業大学)

キーワード: マイクロマシン

要約(日本語): マイクロアクチュエータにおいて電磁方式はサブミリメートルオーダであれば静電方式と同等かそれ以上の力を発生させることが可能である。さらに，電磁方式は低電圧駆動であり，近年低電圧化されている電子回路への適用も容易であると考えられる。本研究で製作するマイクロアクチュエータは1次側にコイル，2次側に非磁性導体を使用し，誘導反発を用いて2次側を浮上させる。動作原理は，1次側コイルで変動磁界を作り出すことによって2次側に渦電流を発生させ，コイルが発生する磁束と渦電流が発生する磁束が反発しあうことで浮上力を得る。誘導反発を効率よく行うために隣り合うコイルは逆向きの磁極となるように配置し交流駆動とする。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 696 Kバイト