静電式マイクロバルブの検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-152

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): A Study On Electrostatic Microvalves

著者名: 豊沢雄一 (千葉工業大学),室英夫 (千葉工業大学),星野貴之 (アルバック成膜),小島智明 (アルバック成膜),楠山幸一 (アルバック成膜)

キーワード: マイクロバルブ|静電式アクチュエータ|マイクロ流体システム|プルイン

要約(日本語): MEMS技術を用いたマイクロ流体デバイスがマイクロ・プラント、化学分析、体内埋め込み型投薬器などの幅広い分野で期待されている。マイクロ流体システムを実現するためにはマイクロバルブ、特にオン・チップのアクチュエーションが不可欠と思われる。そこで簡単なプロセスで制作することができる、ダイアフラム構造を用いた静電式マイクロバルブの検討を行った。MEMS専用シミュレータを用いて、圧力印加に対するマイクロバルブの基本的な変位特性、静電式アクチュエータでの印加電圧に対する変位特性について検討を行い、ダイアフラム幅に対する変位量の依存性、ギャップ長に対するプルイン電圧の依存性などを求めた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 634 Kバイト