可動針を有する静電インクジェットノズルの提案

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-153

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): A proposal of a static electric inkjet nozzle with movable needle

著者名: 谷口 純(九州工業大学),馬場 昭好(九州工業大学)

著者名(英語): Jun Taniguchi(Kyushu Institute of Technology),Akiyoshi Baba(Kyushu Institute of Technology)

キーワード: インクジェット|櫛歯型アクチュエータ

要約(日本語): インクジェット技術を電子デバイス製造に応用すれば、半導体プロセスの削減につながる他、凹凸の大きなマイクロメートルオーダーの構造物への直接描画が可能になる。これらの応用を可能にするには、吐出可能液滴量をフェムトリットル（fl）オーダーにする必要がある。これまでの研究で針型静電式インクジェット方式により、数fl程度の液滴吐出が可能であることが分かっている。しかし、従来の作製法では作製効率や精度が悪いなどの問題点がある。本研究では、Si基板を直接加工することで、基板と針が一体となった構造を作製した。さらに、静電櫛歯型アクチュエータを応用し針を動作することで液の吐出タイミングを制御可能な針を提案する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 814 Kバイト