Pt/Ti二層ゲートFET型水素センサの空気雰囲気での水素応答特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-171

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Response Properties of Pt/Ti Double Layer Gate FET Type Hydrogen Sensor in Air Atmosphere

著者名: 假谷 正敏(岡山大学),山口 富治(岡山大学),紀和 利彦(岡山大学),山田 博信(岡山大学),塚田 啓二(岡山大学),國次真輔 (岡山県工業技術センター)

著者名(英語): Masatoshi Kariya(Okayama University),Tomiharu Yamaguchi(Okayama University),Toshihiko Kiwa(Okayama University),Hironobu Yamada(Okayama University),Keiji Tsukada(Okayama University),Shinsuke Kunitsugu(Industrial Technology Center of Okayama Prefecture)

キーワード: 水素センサ

要約(日本語): 本研究室では，ゲートの触媒金属として白金(Pt)を用いたPt-FET型水素センサを作製し，評価を行ってきた．しかし，このセンサはPtとゲート絶縁膜がはがれやすいという欠点がある．この解決策としてPtと絶縁膜の間にバリアメタルとしてチタン(Ti)をスパッタする方法が考えられるが，触媒金属でないTiをPtと絶縁膜の間に用いた場合，水素応答に何らかの影響を及ぼす可能性がある．そこで，本研究ではバリアメタルとしてTiを用いたPt/Ti-FETを作製し，水素応答特性を測定するとともに，Ti膜厚と応答特性の関係を評価し，膜厚の最適化を行った．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 962 Kバイト