ガス透過膜の水素センサへの適用

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-172

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Application of Gas Permeable Membrane for Hydrogen Sensor

著者名: 藤井 浩二(岡山大学),山口 富治(岡山大学),紀和 利彦(岡山大学),山田 博信(岡山大学),塚田 啓二(岡山大学)

著者名(英語): Kouji Fujii(Okayama University),Tomiharu Yamaguchi(Okayama University),Toshihiko Kiwa(Okayama University),Hironobu Yamada(Okayama University),Keiji Tsukada(Okayama University)

キーワード: 水素センサ|ガス透過膜

要約(日本語): 我々は,電界効果トランジスタ(FET)のゲート電極に触媒金属である白金(Pt)を用いたPt-FETについての報告を行ってきた．しかし，センサの実際の使用環境下では，窒素などの他に水蒸気(湿度)や塵・埃などが存在する．塵や埃はセンサ表面の汚れの原因となり，水素検知に影響を及ぼす．また，湿度は季節や天候により変化するため，センサ出力変動の要因となる．そのため，塵や埃からの保護と湿度によるセンサの出力変動を低減する必要がある．そこで本研究では，テフロン多孔質ガス透過膜を用い，センサへの湿度の影響を評価したので報告する．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,040 Kバイト