Carbon/Silver-QCMによる活性酸素種の計測

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-176

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Active Oxygen detection by means of Quartz Crystal Microbalance Method with Carbon/Silver thin film

著者名: 松本 裕之(岩崎電気),松岡 幹彦(岩崎電気),野田 和俊(産業技術総合研究所)

著者名(英語): Hiroyuki Matsumoto(Iwasaki Electric.),Mikihiko Matsuoka(Iwasaki Electric.),Kazutoshi Noda(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology)

キーワード: 活性酸素|水晶微小天秤法|原子状酸素|カーボン膜

要約(日本語): カーボン／銀薄膜を積層させたQCM（水晶微少天秤）により、誘導結合酸素プラズマ下で生成した活性酸素種の検出を行い、活性酸素とカーボン検出膜との化学反応によるQCMの周波数変化特性が確認された。同時に行った発光分光分析より、ここでは主として原子状酸素ラジカルが支配的な活性因子であることが判明し、また、得られた結果から、QCMに作用した原子状酸素を定量化を試み、およそ1E＋15（／cm2／sec）の原子状酸素フラックスが算出された。さらに、本構成のQCMを用いることで、カーボン検出膜の消失を銀膜の酸化による周波数変曲挙動によって確実に検出できることが判明した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,595 Kバイト