穴あきディスク型振動子を用いたMEMS発信器

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-177

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): A MEMS Oscillator using Annular Disk-type Resonator

著者名: 昆野舜夫 (産業技術総合研究所),池原毅 (産業技術総合研究所),前田龍太郎 (産業技術総合研究所),三原孝士 (オリンパス)

著者名(英語): Konno/Mitsuo (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology),Ikehara/Tsuyoshi (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology),Maeda/Ryutaro (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology),Mihara/Takashi (Olympus Corporation)

キーワード: 発信器|MEMS 振動子|電気回路|OPamp|インピーダンス変換回路|実験

要約(日本語): 先に電気学会センサーシンポジューム'08にて報告した、穴あきディスク型振動子を共振器とするMEMS発信器を開発したので報告する。発振用の電子回路は、文献などに報告されているトランスインピーダンス増幅器を用いるものではなく、MEMS振動子の100KΩ台となる非常に高い駆動インピーダンスに対応するため、ダストコアによるLとチップCを用いた逆L型インピーダンス変換回路付きの超広帯域型OPアンプ（OPA685）の2段型である。 またMEMS振動子は、多くの副共振が観測されるが、これによる不要な発振を避けるため、LC並列回路を用いた帯域通過型濾波器を2つのOPアンプの段間に挿入している。得られた発振周波数は9MHzでQ値は10,000以上（空気中）であった。なおCRには1005型チップを用い、基板はガラスエポキシで大きさは約30mm*40mmである。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 690 Kバイト