表面マイクロマシーニングによる共振子の共振周波数の静電チューニングの検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-178

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): A Study on Electrostatic Tuning of Resonant Frequency for Surface-Micromachined Resonators

著者名: 水口 和彦(千葉工業大学),室 英夫(千葉工業大学)

著者名(英語): kazuhiko Mizuguchi(Chiba Institute of Technology),Hideo Muro(Chiba Institute of Technology)

キーワード: 共振子|表面マイクロマシーニング|静電チューニング|共振周波数|SOI

要約(日本語): SOI表面マイクロマシーニング技術を用いた共振型のセンサ(振動ジャイロや振動型加速度センサ)やアクチュエータが研究されているが、これらのデバイスでは共振周波数をチューニングすることで安定化、高感度化を実現している。本研究では、表面マイクロマシーニング技術により製造される共振子を対象とし、静電力印加による共振周波数変化をシミュレーションにより求め、各種パラメータに対する依存性を明確化した。 共振子の構造は、おもりを両側から2本ずつの梁で支持し、平行平板電極をおもりと対向するように設置したものである。平行平板電極に直流電圧を印加すると共振周波数は電圧の2乗に比例して減少し、両側の電極に電圧を印加した場合、片側だけに印加した場合のほぼ2倍の変化となる特性が得られた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 719 Kバイト