共振型磁気センサの提案と基本動作の確認

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-179

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Proposal of the resonance type magnetic sensor and confirmation of the basic operation.

著者名: 千葉 久統(東北学院大学),木村 光照(東北学院大学)

著者名(英語): Hisato Chiba(Tohoku Gakuin University),Mitsuteru Kimura(Tohoku Gakuin University)

キーワード: 磁気センサ|カンチレバ|共振| 半導体|SOI|周波数

要約(日本語): 本研究で提案する共振型磁気センサは、振動板であるカンチレバの共振周波数および振動振幅が外部被検出磁場により変化し、この変化から磁場を検出するようにする今までにない磁気センサである。単純な構造で、低消費電力、超小型、大量生産が可能であり、信号出力をデジタル化しやすい磁気センサとなると予想しており、地磁気センサ、磁気記録再生用磁気ヘッドなどへの応用を検討している。ここでは、本センサの提案とその原理の確認ができたので、報告する。新しい磁気センサである共振型磁気センサを提案した。基本動作を確認する実験を行った結果、共振しているカンチレバに外部磁場を加えると、共振周波数が高い方へシフトすることが確認できた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 975 Kバイト