ダイオードサーミスタを用いた真空パッドの提案

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-181

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Proposal of the vacuum pad using a diode-thermistor

著者名: 澤口 航(東北学院大学),木村 光照(東北学院大学)

著者名(英語): Wataru Sawaguchi(Tohoku Gakuin University),Mitsuteru Kimura(Tohoku Gakuin University)

キーワード: ダイオード|サーミスタ|カンチレバ|温度センサ|真空センサ|真空チャック

要約(日本語): 本研究では、気流の変動を高速かつ高精度に捕らえ、電気信号に変換する超小型のセンサあり、pn接合ダイオードを絶対温度センサであるサーミスタとして動作させるダイオードサーミスタを、マイクロヒ一夕としても利用する熱型センサを開発している。また、高速に気流変化を検出して電気信号に変えて、真空チャックなどに適用させる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 694 Kバイト