薄膜ピラニ真空センサの1気圧付近の高感度化

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-182

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Enhancement of the pressure sensitivity around one atmosphere in the thin film Pirani vacuum sensor

著者名: 高嶋 徳明(東北学院大学),木村 光照(東北学院大学)

著者名(英語): Noriaki takashima(Tohoku Gakuin University),Mitsuteru Kimura(Tohoku Gakuin University)

キーワード: 真空センサ|熱電対|温度センサ|強制振動|カンチレバ|圧力センサ

要約(日本語): 従来のピラニ真空センサの測定可能な気体圧力範囲は、数kPa-1 Pa程度で、感度が低い。そこで、Si基板をカンチレバ構造に形成して、気体との接触面積を増すことで高感度化した。温度センサには、本研究室で提案した高感度の温度差センサである電流検出型熱電対を用いて高真空では温度差が原理的にゼロとなる測定方法を用いて測定を行った。これにより、高真空での微少な温度変化を増幅することで測定可能になった。また、カンチレバを振動させて強制対流を起こして、1気圧付近での感度を向上した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,052 Kバイト