電流検出型熱電対を用いたマイクロ熱分析装置の検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-183

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Study on micro-thermometric analyzer using the current detection type thermocouple

著者名: 木村 大介(東北学院大学),木村 光照(東北学院大学)

著者名(英語): Daisuke Kimura(Tohoku Gakuin University),Mitsuteru Kimura(Tohoku Gakuin University)

キーワード: 熱電対|熱分析|温度センサ|MEMS|シリコン|カンチレバ

要約(日本語): 本研究では、新たに電流検出型熱電対の超小型熱分析への応用を目指し、MEMS技術によってSOI基板をダイアフラム型状としてヒータとして用いた。熱検出部として、1対の薄膜熱電対を1本のカンチレバ型状に形成し、これを電流検出型熱電対として用い、その基本特性を調べたので報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 757 Kバイト