単磁区磁性薄膜のKerr効果を用いた光プローブ力学量センサの基礎検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-186

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Fundamental study of optical probe force sensor using Kerr effect of magnetic single domain film

著者名: 後藤貴登 (信州大学),菊地佑輔 (信州大学),大谷直樹 (信州大学),曽根原誠 (信州大学),佐藤敏郎 (信州大学),山沢清人 (信州大学),三浦義正 (信州大学),浅沼和志 (長野工科短期大学校)

著者名(英語): Goto/Takanori (Shinshu University),Kikuchi/Yusuke (Shinshu University),Otani/Naoki (Shinshu University),Sonehara/Makoto (Shinshu University),Sato/Toshiro (Shinshu University),Yamasawa/Kiyohito (Shinshu University),Miura/Yoshimasa (Shinshu University),Asanuma/Kazushi (Nagano Prefectural Institute of Technology)

キーワード: 力センサ|光信号|磁気Kerr 効果|交換結合膜

要約(日本語): 磁気を利用した力学量センサである歪ゲージは電気配線を要するため，誘導ノイズの多い環境下において配線にノイズが重畳する恐れがある．したがって，誘導ノイズの多い環境下での測定において従来の歪ゲージは不適であり，様々な環境下で性能を保証するセンサが必要である．本研究は，磁性体の磁気Kerr 効果と逆磁歪効果を応用した力学量センサを提案する．本センサは，磁性薄膜に電極や配線を設けず，光を信号とするため，誘導ノイズによる干渉を受けない利点を有する．本測定では，Kerr 効果用磁性体にFe/Mn-Ir 交換結合磁性薄膜を用い，光プローブ法による力センシングを試みた．測定結果から，光信号を使った力学量の測定が可能であることを見出した．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 957 Kバイト