滑り覚を有する超触覚イメージセンサの実現に向けた指紋構造の検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-190

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Proposal of Silicon-MEMS Tactile Image Sensor with Fingerprint Structure for Slip Detection Ability

著者名: 岡田浩希 (豊橋技術科学大学),高尾英邦 (豊橋技術科学大学),澤田和明 (豊橋技術科学大学),石田誠 (豊橋技術科学大学)

キーワード: 触覚センサ|シリコン|MEMS

要約(日本語): 我々は、人間の指先における高度な感覚機能の実現を目指し、シリコンLSIとMEMS技術を用いた触覚イメージセンサの実現を目指している。基本コンセプトは空気圧で支持した柔軟構造のシリコンダイヤフラム上に「力覚」「温覚」センサなどのセンサ画素をアレイ状に集積した、分布型の触覚センサである。柔軟性を持ったシリコンは物体形状に追従でき、集積回路技術による高い位置分解能と垂直荷重感度を持っている。今回は人の指紋のような凹凸な構造を触覚イメージセンサに形成することで、人の指先では検知できる横軸の荷重や滑り発生の検出を実現することを提案する。有限要素法によるシミュレーションにより原理確認を行い、実際に製作したサンプルで測定を行い、滑り検出への見通しを立てた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,015 Kバイト