酸化クロム薄膜ひずみゲージを用いた柔軟な触覚センサの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-193

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Development of flexible tactile sensor using Cr-O thin film strain gauge.

著者名: 松永 崇(大阪府立産業技術総合研究所),日下 忠興(大阪府立産業技術総合研究所),小栗 泰造(大阪府立産業技術総合研究所),筧 芳治(大阪府立産業技術総合研究所),岡本 昭夫(大阪府立産業技術総合研究所),佐藤 和郎(大阪府立産業技術総合研究所),吉竹 正明(大阪府立産業技術総合研究所)

著者名(英語): Takashi Matsunaga(Technology Research Institute of Osaka Prefecture),Tadaoki Kusaka(Technology Research Institute of Osaka Prefecture),Taizou Oguri(Technology Research Institute of Osaka Prefecture),Yoshiharu Kakehi(Technology Research Institute of Osaka Prefecture),Akio Okamoto(Technology Research Institute of Osaka Prefecture),Kazuo Sato(Technology Research Institute of Osaka Prefecture),Masaaki Yoshitake(Technology Research Institute of Osaka Prefecture)

キーワード: 触覚センサ|ソフトマテリアル|酸化クロム|薄膜ひずみゲージ

要約(日本語): 本センサは、ポリイミドフィルム上に形成された酸化クロム薄膜ひずみゲージを、シリコーンゴム製の四角錘台の4つの側面に貼り付けた構造であるが、酸化クロム薄膜のクラック発生が問題となっている。ポリイミドフィルム上に密着性の向上、内部応力のキャンセルを目的に、DLC、SiCを中間層として成膜し、その上に酸化クロムを成膜した。また、センサパターンの作製にはメタルマスクを用い、各薄膜を成膜装置内で連続成膜することで、工程の大幅な簡略化を図った結果、ほぼ100%のセンサ薄膜が断線せずに、最終工程まで残った。当日は作製したセンサの諸特性や、トルク検出の検討結果を報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 872 Kバイト