Siピエゾ抵抗を用いた傾斜カンチレバー触覚アレイセンサ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-194

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Fabrication and Characterization of Tactile Array Sensor with Inclined Si Piezoresistive Cantilever

著者名: 美馬達也(大阪大学),大西浩之(大阪大学),寒川雅之(大阪大学),金島岳(大阪大学),奥山雅則(大阪大学),山下馨(京都工芸繊維大学),野田実(京都工芸繊維大学),野間春生(オムロン),樋口誠良(オムロン)

著者名(英語): Tatsuya Mima|Hiroyuki Oonishi|Masayuki Sohgawa|Takeshi Kanashima|Okuyama Masanori|Kaoru Yamashita|Minoru Noda|Haruo Noma|Masayoshi Higuchi

キーワード: 触覚センサ|カンチレバー|ピエゾ抵抗|アレイセンサ

要約(日本語): 我々は4つの傾斜カンチレバーを用い、圧力と剪断力を同時に検出可能であり、カンチレバー全体を柔軟なエラストマーで覆うことにより安全な触覚センサを提案している。今回は素子を複数配置したアレイセンサを作製し、力に対する応答を調べた。作製したセンサは、ひずみ検出層としてp+-Siを用い、エラストマーでカンチレバーを被覆したものである。4つのカンチレバーからなるセンサ素子を3×3のアレイ状に1素子/mm2の密度で配置した。素子全体に上からの圧力を印加した時の1つのカンチレバーのブリッジ出力電圧は印加圧力にほぼ線形に変化し、3回の測定に対し再現性が良い。同様に、剪断力についても0～20kPaでほぼ線形の結果が得られた。また圧力・剪断力ともに9素子全てにおいて出力が得られた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,143 Kバイト