変位変換機構を有するZ軸加速度センサ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-196

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Z-axis Accelerometer with Mechanical Link Structure

著者名: 平田善明 (三菱電機),紺野伸顕 (三菱電機),徳永隆志 (三菱電機),番政広 (三菱電機),福本宏 (三菱電機)

キーワード: 加速度センサ|マイクロマシン|容量式加速度センサ

要約(日本語): 容量式加速度センサは、衝突検知など非常に多くの分野で用いられているが、面外（Z軸）方向を検出するタイプは比較的少ない。我々は、ユニークなセンシング機構を持つZ軸検出加速度センサを開発した。Z軸方向の慣性質量体の変位を検出電極の回転変位にメカニカルに変換するセンシング機構を有する。基板上に配置した可動構造体直下の検出電極で差動容量を形成でき、可動構造体上の検出電極は不要となり、2層ポリSiの表面マイクロマシンプロセスで作製可能である。設計自由度が高く、感度と共振周波数を個別に設定できるため、用途に合わせた周波数特性を持つ加速度センサの設計が可能である。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 774 Kバイト