摩擦補償によるボールねじ駆動機構の追従性能改善に関する検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 4-254

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Friction Compensation for Improvement of Tracking Control by Ball Screw Driven Mechanism

著者名: 小根澤雄志 (高岳製作所),杉浦 敏行(高岳製作所),城谷 聡美(システムシミュレーション研究所)

著者名(英語): Takeshi Onezawa(Takaoka Electric Mfg.),Toshiyuki Sugiura(Takaoka Electric Mfg.),Satomi Shirotani(System Simulation Laboratory)

キーワード: 摩擦補償|モデル追従制御|周波数応答|微動領域

要約(日本語): 本稿ではボールねじおよび転がり案内を有する1軸ステージを供試器として、振幅10μm以下の微動領域における周波数応答が振幅減少に伴って大幅に劣化することを明らかにする。この結果から摩擦外乱のモデリングについて検討し、さらに速度規範モデルを用いたモデル追従制御による摩擦補償の方法について、実機検証とシミュレーションの両面から検討を行った。これらの結果、まず摩擦外乱を現象論的にモデル化し、この摩擦モデルが微動領域におけるステージ運動のシミュレーションに対して有効であることを確認した。さらに本方式の摩擦補償により微動領域での周波数応答が改善され、そのシミュレーション精度も良好であることを確認した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,360 Kバイト