インパクト駆動機構の制御方法

カテゴリ: 全国大会

論文No: 4-264

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

タイトル(英語): Control Method of an Impact Drive Mechanism

著者名: 田中 貴照(東京工科大学),横田 祥(東京工科大学),大山 恭弘(東京工科大学),Jin-Hua She (東京工科大学)

著者名(英語): Takaaki Tanaka(Tokyo University of Technology),Syo Yokota(Tokyo University of Technology),Yasuhiro Ohyama(Tokyo University of Technology),Jin-Hua She(Tokyo University of Technology)

キーワード: 圧電素子|インパクト駆動機構|慣性|摩擦|精密位置決め|nm

要約(日本語): 微小移動装置の一つとしてインパクト駆動機構(IDM)が存在する。IDMとは、圧電素子により発生させた慣性力を摩擦力により静止している物体に加え、微小移動させる機構である。これまでIDMに関していくつかの報告がされているが、IDMの制御に関する報告は殆どない。そこで我々はIDMを製作し、簡単な4つの制御方法についてIDMの運動の比較を行い、どの制御方法がIDMに適しているか検討した。 実験の結果、積分制御は制御システムの位置決め分解能12.2±6.1[nm]の範囲内で位置決めを行った。また、制定時間は位置決め精度が高いほど長くなる傾向が見られた。IDMの制御には積分制御が有効であると確認した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,414 Kバイト