レーザ誘起背面湿式加工法による石英ガラスの微細加工

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-S17-5

グループ名: 【全国大会】平成21年電気学会全国大会論文集

発行日: 2009/03/15

著者名: 新納弘之 (産業技術総合研究所),川口喜三 (産業技術総合研究所),佐藤正健 (産業技術総合研究所),奈良崎愛子 (産業技術総合研究所),黒崎諒三 (産業技術総合研究所)

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 3,663 Kバイト