圧電トランスを用いた誘電体バリア放電型エキシマランプの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-061

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): Development of Dielectric Barrier Discharge Type excimer Lamp Using Piezoelectric Transformer

著者名: 杉森 茂宏(徳島大学),寺西 研二(徳島大学),下村 直行(徳島大学),鈴木 進(千葉工業大学),伊藤 晴雄(千葉工業大学)

著者名(英語): Shigehiro Sugimori(The University of Tokushima),Kenji Teranishi(The University of Tokushima),Naoyuki Shimomura(The University of Tokushima),Susumu Suzuki(Chiba Institute of Technology),Haruo Itoh(Chiba Institute of Technology)

キーワード: エキシマランプ|圧電トランス|誘電体バリア放電

要約(日本語): 著者らはこれまでに強誘電体製の圧電トランス（PT）を用いた誘電体バリア放電（DBD）型エキシマランプを開発し、He/Xe混合ガスを封入した放電容器内でランプを駆動した際の真空紫外（VUV）発光特性について報告した。本報告では、新たに封じ切り型のエキシマランプを開発し、その放電特性ならびに光電子増倍管によりVUV 光を検出した結果について述べる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 4,249 Kバイト