沿面放電による太陽電池表面のエッチング特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-074

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): Etching characteristics of silicon solar cell using surface discharge

著者名: 有村 拓也(宮崎大学),濱田 俊之(宮崎大学),迫田 達也(宮崎大学)

著者名(英語): Takuya Arimura(University of Miyazaki),Toshiyuki Hamada(University of Miyazaki),Tatsuya Sakoda(University of Miyazaki)

キーワード: 電極溝

要約(日本語): 今日、太陽電池はエネルギー変換効率が低く、更なる効率改善が望まれている。そのような中で、シリコン系太陽電池を高効率化させる手法として、選択エミッタ構造を導入する方法が挙げられる。しかし、シリコン太陽電池は反射光損失を防ぐためテクスチャ構造や窒化シリコン等の反射防止膜が形成されている。そのため、電極形成部のみ反射防止膜を除去した平坦な電極溝を作製することが電極 / 半導体間のオーミック接触の改善に有効である。ここでは、大気圧沿面放電プラズマをエッチング源として、表面にSiN膜が形成された太陽電池用単結晶シリコン表面をエッチングして電極溝を作製し、沿面放電によるエッチング特性を検討した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 923 Kバイト