平行平板RF絶縁破壊のモンテカルロシミュレーション

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-106

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): Monte Carlo Simulation of Parallel Plate RF Breakdown

著者名: 佐々木 典彦(仙台高等専門学校),野角光治 (仙台高等専門学校),庄司 正文(ワコム電創),内田 裕(東芝)

著者名(英語): Sasaki Norihiko(Sendai National College of Technology),Nogaku Mitsuharu(Sendai National College of Technology),Shoji Masafumi(Wacom Elec. CO.,LTD.),Uchida Yutaka(Toshiba)

キーワード: 高周波放電|絶縁破壊|モンテカルロシミュレーション

要約(日本語): 平行平板型RF絶縁破壊に関し、電極における反射を考慮したモンテカルロシミュレーション（MCS）を行い、破壊特性を再現するとともに電子の運動について明らかにしている。特に、複数の電極間距離のもとでの計算を行い、V型を取る破壊電圧特性の右枝（最小破壊電圧を与える圧力より高い圧力領域）における比例則、及び左枝の折り返し点におけるドリフト振幅を調べている。また、cosine分布した電子集団が定常的な振動的ドリフト運動を行うとして導かれたKiharaの破壊条件式についても、粒子バランス式を直接数値的に解くことによりその妥当性を検討した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 829 Kバイト