真空中の高耐電圧ステンレス鋼電極材料の検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-107

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): Investigation of Stainless Steel Electrode Materials for High Vacuum Insulation Capability

著者名: 明石 圭祐(埼玉大学),山納 康(埼玉大学),小林 信一(埼玉大学),明石 康行(明電舎),北寄崎 薫(明電舎)

著者名(英語): Keisuke Akashi(Saitama University),Yasushi Yamano(Saitama University),Shinichi Kobayashi(Saitama University),Yasuyuki Akashi(Meidensha Corporation),Kaoru Kitakizaki(Meidensha Corporation)

キーワード: 真空|絶縁破壊|ステンレス鋼|スパークコンディショニング|電極表面状態

要約(日本語): 真空中においてステンレス鋼は、幾つかの電極材料中で比較的高い耐電圧を有することが知られている。 本研究ではXPS表面分析、繰り返し絶縁破壊試験の一連の試験を同一真空系内で行うことができるin-situ実験装置を用いて、供試電極SUS316とSUS316Lの2種のステンレス鋼電極の真空中絶縁破壊試験を行った。また、SUS316Lの電極はプラズマ浸炭処理を施し、表面硬度を向上させた電極についても試験を行った。 SUS316とSUS316Lの電極のコンディショニング効果飽和後の絶縁破壊電界は250MV/mと高い耐電圧特性を有していた。一方、プラズマ浸炭処理を施したSUS316Lの電極では、160MV/m程度と低くなるという結果が得られた。

原稿種別: 日本語

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