ミラー表面における微小欠陥の高速検出

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-137

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): Fast Detection of Small Defects on Mirror Polished Surface

著者名: 泉谷俊樹 (兵庫県立大学),佐藤 将紀(兵庫県立大学),東 欣吾(兵庫県立大学),荒木 望(兵庫県立大学),藤原 閲夫(兵庫県立大学),柴田 和久(アークハリマ)

著者名(英語): Toshki Izutani(University of Hyogo),Masanori Satou(University of Hyogo),Kingo Azuma(University of Hyogo),Nozomu Araki(University of Hyogo),Etsuo Fujiwara(University of Hyogo),Kazuhisa Shibata(ARC)

キーワード: 表面検査|欠陥|鏡面

要約(日本語): 鏡面研磨された広い表面に確率的にわずかに残る傷も含めた表面欠陥を効率よく検出することを目的にしている。 モジュール化した移動可能な小型測定器を試作した。PCで制御された移動台に搭載することによって表面を隈無く測定し、欠陥位置座標を高速で記録できることを確認した。記録した位置に再現性を持って移動停止でき、搭載した観察カメラによって欠陥形状やサイズを測定することも可能である。測定された最小欠陥サイズは約25μmであった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,335 Kバイト