回折モアレ型変位センサの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-138

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): Development of Diffraction Moire Type Displacement Sensor

著者名: 樋口智哉 (愛知工業大学),岩田雅史 (愛知工業大学),内田敬久 (愛知工業大学)

キーワード: 変位センサ|回折|モアレ

要約(日本語): ナノテクノロジーの更なる発展には，精密位置センサの確立が急務である。そこで本論文ではマイクロ・ナノレベルでの位置センシングを可能とする微小変位センサの開発を行った。本センサは，回折光の光強度が変位に依存することを利用して2枚の回折格子間の相対変位を測定している。さらに2組の回折格子対を用いることにより，検出領域全般にわたって高分解能で変位検出を可能とすると共に検出領域の拡大も実現している。計算モデルを用いて各種パラメータを検討した結果に基づき試作機を製作し実測による検証を行った。実験結果の一例として，格子ピッチ50μmにおいて標準偏差数十nmの計算結果が見積もられていたが，標準偏差約120nmの実測結果が得られた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 940 Kバイト