フィードバック制御型変調誘導熱プラズマ炉の温度追随特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-179

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): Temperature Control Characteristics of Feedback Control Modulated Induction Thermal Plasmas

著者名: 上坂洋介 (金沢大学),坪川 祐樹(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学)

著者名(英語): Yosuke Uesaka(Kanazawa University),Yuki Tsubokawa(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University)

キーワード: 変調誘導熱プラズマ|フィードバック制御|MOSFETインバータ|温度制御|周波数特性

要約(日本語): 筆者らがこれまでに開発した, パルス変調誘導熱プラズマ(PMITP)および任意波形変調誘導熱プラズマ(AMITP)により, 熱プラズマ照射による材料に対する熱的ダメージの軽減や, 粒径のより小さなナノ粒子の生成等の成果が得られている. これらの変調プラズマをさらに発展させるため, DSPを用いて熱プラズマ温度の擬似的直接制御を行うフィードバック制御型変調誘導熱プラズマ(FBC-MITP: Feedback Control type of Modulated Induction Thermal Plasmas)システムの開発を行った. 本システムの実現により, 擾乱(ガス投入, 材料投入時等)に対しロバストなインテリジェントICTPシステムの構築等様々な応用が期待できる. そこで今回は, 構築したFBC-MITPの外部制御信号に対する温度追随特性を実験により得た.

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,676 Kバイト