トーチ下流にN2およびH2ガスを導入した変調誘導熱プラズマによる高速窒化実験

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-192

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): High-Speed Surfice Nitridation of Titanium using Pulse Moodulated Induction Thermal Plasmas with Injection of N₂/H₂ gas into Downstream of a Torch.

著者名: 藤本 健太(金沢大学),伊藤 智幸(金沢大学),田中 康規(金沢大学),上杉 喜彦(金沢大学)

著者名(英語): Kenta Fujimoto(Kanazawa University Graduate school of Natural Science & Technology),Tomoyuki Ito(Kanazawa University Graduate school of Natural Science & Technology),Yasunori Tanaka(Kanazawa University Graduate school of Natural Science & Technology),Yoshihiko Uesugi(Kanazawa University Graduate school of Natural Science & Technology)

キーワード: 熱プラズマ|窒化処理|パルス変調|XRD測定

要約(日本語): 現在使用されている窒化処理技術は, 30分?数十時間と処理時間が長いという欠点がある。一方, 本研究室では『パルス変調誘導熱プラズマ（PMITP）』を開発しており, このPMITPはプラズマ下流に配置したTi試料に照射される熱流束を減少させ，同時に励起窒素原子数を増加できることを実験より見出している。これにより, 処理時間を短縮しつつ，熱プラズマ処理の短所である熱的ダメージを抑制するという新しい手法を確立させようとしている。本報告では, 新たにトーチ下流部からN₂およびH₂ガスを導入してTi窒化処理を行い, Ti試料表面温度と表面組成について検討した。TiNとα-TiN0.3のピーク比をとり、窒化物形成割合として比較した。今回の結果では照射時の表面温度が低下しているにもかかわらず, TiNの割合が高くなり, 窒化を促進できる傾向が得られた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,432 Kバイト