ＮＬＤプラズマの解析(V)?電磁界中のイオン運動の解析

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-198

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): Analysis of NLD Plasma (V) - Ion Motion in Electric and Magnetic Fields

著者名: 櫻井 洋平(北海道大学),大佐賀 毅(北海道大学),菅原 広剛(北海道大学),村山 明宏(北海道大学)

著者名(英語): Yohei Sakurai(Hokkaido University),Tsuyoshi Osaga(Hokkaido University),Hirotake Sugawara(Hokkaido University),Akihiro Murayama(Hokkaido University)

キーワード: NLDプラズマ|電磁界|イオン|エッチャント|粒子モデル

要約(日本語): NLDプラズマ中の荷電粒子運動の基礎として、エッチング特性に直接関わるイオン種の運動を追跡した。イオンのクヌーセン数を評価した結果、イオン平均自由行程は反応容器の特性長程度であったのでイオンの動きはクヌーセン流として扱う必要がある。従って本解析の軌道解析には粒子モデルを採用した。イオンの運動には熱速度を初速とした弾道飛行と器壁付近の強い磁界によるローレンツ力の効果が観察できた。イオンのラーモア半径は小さなところでは数cmオーダとなり、器壁付近ではイオン飛程の曲がりが無視できない。エッチャントとしてのイオンの入射をモデル化する際に考慮すべき一要素であると考えられる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 928 Kバイト