熱量測定法を用いたデュアルプラズマ法の絶縁物表面処理への適用性の検証

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-201

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): Feasibility test by using calorimetry method on the dual-plasma for insulator surface treatment

著者名: 増子 冬馬(茨城大学),神谷旭人 (茨城大学),富田 和成(茨城大学),池畑 隆(茨城大学),佐藤 直幸(茨城大学)

著者名(英語): Toma Mashiko(Ibaraki University),Akihito Kantani(Ibaraki University),Masanari Tomita(Ibaraki University),Takashi Ikehata(Ibaraki University),Naoyuki Sato(Ibaraki University)

キーワード: プラズマ|表面処理|絶縁物|イオンエネルギー|静電気

要約(日本語): プラズマイオンプロセスは,プラズマ中のイオンをイオンシースの中で加速し,基材に照射して表面処理を行う技術であり,被処理物としては金属,半導体等の導電性材料が主であった.しかし,ガラス,セラミックス等の絶縁物に応用するとイオン照射に伴う基材の帯電により,表面処理が困難であった.我々は,絶縁物の帯電を抑制しながらその表面処理を可能とするデュアルプラズマ法を提案した.本研究では,デュアルプラズマ法の絶縁物表面処理への適用性を明らかにするため,絶縁基板に入射する粒子束（イオン,中性粒子）の電力をその温度上昇から熱量測定法で求めることを試みた.

原稿種別: 日本語

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