微細電解質溶液流を用いた大気圧直流マイクロプラズマの生成とその応用

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-210

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): Generation of atmospheric pressure dc microplasma with a miniature electrolyte-flow and its application

著者名: 金丸 誠(東京工業大学),橋口 展明(東京工業大学),井深 真治(東京工業大学),石井 彰三(東京工業大学)

著者名(英語): Makoto Kanemaru(Tokyo Institute of Technology),Noriaki Hashiguchi(Tokyo Institute of Technology),Shinji Ibuka(Tokyo Institute of Technology),Shozo Ishii(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: 微細電解質溶液流|直流マイクロプラズマ|微細加工

要約(日本語): 筆者らは微細なガス流を用いた直流放電により、金属電極および液体電極を用いて大気圧グロー放電を安定にできることを報告した。本論文では、液体と放電が広範囲に相互作用するプラズマを生成するために、微細な電解質溶液流を利用する新しい方法を開発し、放電の安定生成条件および放電特性の評価を行い、金属微細加工への応用を検討したので報告する。この方法はマスクレスの微細加工、表面改質、着色技術への応用が期待できる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 916 Kバイト