大気圧非平衡放電プラズマジェットによる表面処理試料の空間電荷分布測定

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-217

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): Space Charge Measurements of Surface Cleaning Sample Using Atmospheric-Pressure Non-equilibrium Discharge Plasma Jet

著者名: 湯地 敏史(宮崎大学),青木 慎二(ADTECプラズマテクノロジー),河野唯通 (ファイブラボ),赤塚 洋(東京工業大学)

著者名(英語): Toshifumi Yuji(University of Miyazaki),Shinji Aoki(ADTEC Plasma Technology Co.,LTd.),Yuimichi Kohno(FiveLab Co.,Ltd.),Hiroshi Akatsuka(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: 大気圧プラズマジェット|空間電荷|パルス静電応力法|表面処理|PENフィルム

要約(日本語): 現在、産業界において大気圧プラズマを用いた表面処理技術が注目されているが、大気圧プラズマそのものの特性が明確でないため、実用化に至らないのが現状である。大気圧プラズマでの表面処理の基本的なプロセスは、プラズマ中から発生するラジカルの影響によるものである。そそこで本研究では、大気圧プラズマによりポリエチレンナフタレート(PEN)フィルムにプラズマ表面処理を施して、PENフィルムの表面の空間電荷応力法によりプラズマから発生したラジカルの生成状態PENフィルム表面の空間電荷挙動を観測し、プラズマからのラジカル生成反応状態を検討した。本報告においては、空間電荷応力法により得られた観測結果について報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 711 Kバイト