超々高分解能PEA装置の開発の試みと問題点

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-039

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): Ultra High Resolution PEA System

著者名: 浜野 昭洋(東京都市大学),田中 康寛(東京都市大学),前野 恭(情報通信研究機構)

著者名(英語): Akihiro Hamano(Tokyo City University),Yasuhiro Tanaka(Tokyo City University),Takashi Maeno(National Institute of Information and Communications Technology)

キーワード: PEA|絶縁材料

要約(日本語): 近年、多くの汎用機器の基盤材料として利用されている絶縁材料には、電子機器の小型、軽量化にともない10μm程度の厚さで優れた絶縁性能を発揮することが望まれている。しかし、フィルムの厚さが低下すると相対的に電界が上昇し、長期使用における絶縁の信頼性が問題となる。絶縁性の評価方法の1つとして空間電荷の蓄積特性が挙げられるが、現在、絶縁体内部の空間電荷測定に広く使用されているPEA（Pulsed Electroacoustic）法による空間電荷測定装置では、位置分解能（厚さ方向）が5~6μm程度であるため、厚い試料（100μm程度）での測定を余儀なくされてきた。一方、高分解能空間電荷測定法としては、LIPP（Laser Induced Pressure Propagation）法が知られており、1μm以下と極めて高い分解能を持つが、LIPP装置は高価であり、また、測定時の簡便さに欠ける。そこで、本研究はPEA装置においても同程度の分解能を達成することを試みた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,186 Kバイト