イオン注入された高分子フィルムでの空間電荷分布計測

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-047

グループ名: 【全国大会】平成22年電気学会全国大会論文集

発行日: 2010/03/05

タイトル(英語): Observation of Space Charge Distributions in Ion-implanted Polymer Films

著者名: 劉 昇埈(早稲田大学),鐘ヶ江 越(早稲田大学),大木義路 (早稲田大学)

著者名(英語): Seungjun Yu(Waseda University),Etsu Kanegae(Waseda University),Yoshimichi Ohki(Waseda University)

キーワード: 空間電荷分布|イオン注入

要約(日本語): 低密度ポリエチレンおよびポリメチルペンテンにプロトンを注入し、PEA法により室温下で空間分布を測定した。その結果、プロトンがそれぞれの試料に侵入する深さの計算値と同程度の深さにおいて正電荷の蓄積が観測される。また、低密度ポリエチレンではイオン注入後に電界を印加すると、プロトンに起因する蓄積電荷の他、電界印加に起因する蓄積電荷も観測される。さらに、3分間電界印加後に短絡すると、プロトンに起因する蓄積電荷は動かないが、電界印加に起因する蓄積電荷は急速に消滅する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,067 Kバイト